如何减少蚀刻刀模蚀刻毛边的?

2020-07-03 10:18:23 msdn 30

如何减少蚀刻刀模蚀刻毛边的?其实大家都想要知道蚀刻刀模厂是如何减少蚀刻毛边的?其实蚀刻毛边的大小,主要就是因为蚀刻因子造成的,对于同一设备和相同药水能改良蚀刻因子的空间有限,而真正影响到蚀刻刀模品质的毛边的因素,主要在密集区或有些特殊图形的线路上。刻刀模而蚀刻刀模的影响极大地受图案间距和图案形状的影响。需要考虑线补偿的更多细节,增加不同间距和特殊图案之间的补偿量,增加段补偿的等级,以帮助蚀刻均匀性和减少蚀刻毛刺。那么我们应该怎么做呢?大家可以尝试一下以下方法:1、根据图形和线距进行分多段补偿,加大密集和非密集线补偿比例,密集线和特殊图形,如梳型、弧形、尖角等,这些都容易出现蚀刻毛边过大,所以需加大补偿;2、可分两次或两次以上蚀刻,每次蚀刻调整放刀模方向,包括正反面,按不同方向放板可以使喷咀从更多方位角度去喷射药液来改善密集和特殊图形蚀刻毛边,此方法也适应酸性蚀刻。

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